Bảo vệ an toàn trong các khu vực làm sạch bằng hóa chất dễ nổ
Khi bạn sử dụng phương pháp làm sạch bằng hóa chất để nung nóng các tấm wafer, bạn cần không chỉ một nguồn nhiệt mà còn cần sự an toàn tuyệt đối. Nếu bạn làm việc với các chất lỏng dễ cháy hoặc dễ nổ, thì chiếc đèn hồng ngoại thông thường không chỉ là công cụ hỗ trợ mà còn là nguồn gây rủi ro. Đó là lý do tại sao chúng tôi thiết kế các thiết bị sưởi ấm với lớp vỏ bảo vệ chuyên dụng. Lớp vỏ này giúp ngăn chặn nguy cơ cháy nổ, đồng thời đảm bảo tính ổn định của thiết bị, ngay cả khi các hóa chất có tính chất nguy hiểm.
Cách chúng tôi bảo vệ các bộ phận của thiết bị
Chúng tôi không để ống thạch anh tồn tại trong môi trường tiếp xúc trực tiếp với không khí. Điều đó sẽ gây ra nhiều rủi ro. Để ngăn chặn các hơi gas dễ cháy tiếp xúc với bộ phận gia nhiệt, chúng tôi bọc toàn bộ các bộ phận của thiết bị trong lớp vỏ chống nổ. Chúng tôi sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao, vì loại thạch anh này không bị biến dạng dưới áp lực, giúp bức xạ hồng ngoại chiếu trực tiếp vào bề mặt wafer.
Về phần dây điện, chúng tôi sử dụng các kẹp kín chịu nhiệt cao để bảo vệ các đầu nối điện. Điều này giúp ngăn chặn khí ăn mòn tiếp xúc với các linh kiện điện tử, từ đó tránh được các sự cố bất ngờ.
Kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác
Bí quyết nằm ở việc sử dụng bức xạ hồng ngoại sóng ngắn. Phương pháp này giúp nung nóng bề mặt wafer một cách trực tiếp. Giúp tiết kiệm năng lượng khi không cần nung nóng không khí hay chất lỏng xung quanh. Điều này rất quan trọng, vì nó giúp tránh được nguy cơ cháy nổ.
Chúng tôi kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Nếu nhiệt độ sai lệch vài độ, không chỉ wafer bị hư hỏng mà còn có thể gây ra các sự cố an toàn, khiến toàn bộ quy trình sản xuất bị gián đoạn. Không ai muốn điều đó xảy ra.
Thực tế trong công việc
Hãy thành thật mà nói về những rủi ro liên quan. Phương pháp sưởi ấm bằng bức xạ hồng ngoại yêu cầu lượng điện năng lớn. Tốc độ gia nhiệt nhanh rất tốt cho quá trình sản xuất, nhưng lượng nhiệt tập trung ở một điểm nhất định khiến thân máy cần có hệ thống tản nhiệt tốt. Nếu không thông gió tốt, các lớp kín sẽ bị hỏng nhanh chóng. Đó là quy luật vật lý thôi.
Chúng tôi thiết kế các thiết bị này để thay thế cho các hệ thống làm sạch hiện có. Bạn vẫn có thể sử dụng lượng nhiệt cần thiết để làm khô hoặc xử lý wafer một cách nhanh chóng, nhưng lớp vỏ bảo vệ sẽ giúp ngăn chặn sự tiếp xúc giữa điện và hóa chất. Không có tia lửa, không có rò rỉ – chỉ có một quy trình hoạt động ổn định mà thôi.