Trong quá trình gia nhiệt để kiểm tra chất lượng wafer, những biến đổi nhiệt độ xảy ra rất nhanh – dẫn đến sự thay đổi về chiều rộng đường kẻ trên bề mặt wafer và giảm tỷ lệ sản phẩm hoàn chỉnh. Nếu phương pháp gia nhiệt không được kiểm soát tốt, sau quá trình khắc, sẽ xuất hiện các tạp chất trên bề mặt wafer, khiến chất lượng sản phẩm giảm sút. Chúng tôi đã thiết kế hệ thống đèn gia nhiệt dành riêng cho việc này nhằm loại bỏ những yếu tố gây biến đổi nhiệt độ.
Bộ phận quan trọng nhất của hệ thống này là chiếc đèn halogen hồng ngoại tia ngắn, được đặt trong vỏ thủy tinh. Chiếc đèn này có khả năng gia nhiệt nhanh chóng và chính xác, với thời gian phản ứng chỉ vài mili giây. Trong khu vực gia nhiệt, độ đồng đều nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C; nhờ đó, lớp phim photoresist luôn nhận được lượng nhiệt đều đặn trong từng chu kỳ gia nhiệt. Trong các phòng sạch cấp độ 1–100, quá trình lắp ráp diễn ra mà không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, giúp bề mặt mặt nạ, thấu kính và wafer luôn sạch sẽ.
Chất lượng sản phẩm vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ sử dụng, với mức suy giảm chất lượng dưới 5%. Nhờ đó, thiết bị có thể hoạt động 24/7 mà không cần điều chỉnh liên tục.
Đây chính là lý do khiến chiếc đèn này trở nên hữu ích: nó giúp điều chỉnh nhiệt độ gia nhiệt sao cho phù hợp với đặc tính nhiệt của lớp photoresist, đồng thời đảm bảo quá trình gia nhiệt diễn ra đúng cách. Kết quả là việc kiểm soát độ chính xác kích thước wafer trở nên dễ dàng hơn, số lượng sản phẩm cần sửa chữa giảm đi, và các chu kỳ kiểm tra cũng có thể được lên kế hoạch một cách chính xác. Ngoài ra, mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm đi, vì chỉ có vùng cần gia nhiệt mới bị ảnh hưởng, chứ không phải toàn bộ buồng gia nhiệt.
Việc lắp đặt khá đơn giản: chỉ cần đảm bảo rằng giao diện kết nối của thiết bị phù hợp với đèn, và đường đi ánh sáng không bị chắn. Đèn hoạt động ở cường độ cao, vì vậy cần có các biện pháp bảo vệ để ngăn chặn nguy cơ gây hại cho người vận hành và các thiết bị xung quanh. Cần thường xuyên kiểm tra thủy tinh bao bọc đèn để đảm bảo mọi thứ luôn sạch sẽ và ổn định về mặt nhiệt độ.