Giữ cho môi trường kiểm soát bụi loại Class 100 luôn sạch sẽ
Nếu bạn đang vận hành môi trường kiểm soát bụi loại Class 100, bạn chắc hẳn hiểu rõ tầm quan trọng của việc duy trì môi trường này. Chỉ cần một hạt bụi nhỏ hay một lượng khí thải nhỏ thôi cũng có thể phá hủy các wafer silic của bạn. Đó quả là một cơn ác mộng. Hầu hết các loại bộ sưởi thông thường không thể hoạt động tốt trong môi trường này – chúng sẽ tạo ra các hạt bụi hoặc khí thải ngay vào lúc bạn không thể chấp nhận điều đó.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chọn sử dụng các bóng đèn hồng ngoại bằng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao để sử dụng trong các thiết bị sưởi dành cho ngành bán dẫn.
Tại sao lại chọn thạch anh?
Hãy suy nghĩ xem: các bộ sưởi được làm từ kim loại thường có các lỗ nhỏ; chúng sẽ giữ lại bụi bẩn và các ion kim loại, từ đó gây ảnh hưởng xấu đến quá trình sản xuất. Thạch anh thì khác – đó là silic kết tinh, vì vậy nó vẫn giữ được tính ổn định ngay cả khi nhiệt độ lên rất cao. Nó không bị biến đổi hay vỡ vụn. Hơn nữa, vì sử dụng bức xạ hồng ngoại, nhiệt lượng được truyền trực tiếp đến vật liệu cần sưởi, mà không ảnh hưởng đến không khí xung quanh. Nhờ vậy, dòng khí trong môi trường kiểm soát bụi vẫn giữ được trạng thái ổn định.
Chi tiết về khả năng sản sinh nhiệt
Các bóng đèn này được thiết kế để tạo ra nhiệt lượng lớn, và chúng làm điều đó một cách nhanh chóng. Chúng ta có thể điều chỉnh công suất và điện áp để phù hợp với hệ thống điện mà bạn đang sử dụng. Nhưng cần lưu ý rằng những bóng đèn này hoạt động ở nhiệt độ rất cao. Hãy đảm bảo rằng lớp bảo vệ của thiết bị đủ mạnh để tránh việc thiết bị bị hư hại do nhiệt độ quá cao.
Cách lắp đặt
Chúng tôi sử dụng các đầu nối tiêu chuẩn, vì vậy bạn có thể dễ dàng lắp chúng vào hệ thống hiện có mà không gặp khó khăn gì. Các lớp kín cũng rất chắc chắn, vì vậy bạn không cần lo lắng về việc bụi bẩn hoặc khí thải lọt vào bên trong.
Tuy nhiên, có một quy tắc quan trọng: đừng chạm vào thạch anh bằng tay trần. Nghe có vẻ đơn giản, nhưng dầu trên da có thể để lại những vết bẩn vô hình. Những vết bẩn này sẽ tạo ra những điểm nóng, và chính những điểm nóng này khiến bóng đèn bị hỏng sớm. Hãy sử dụng găng tay khi tiếp xúc với thạch anh.
Đó là một sự đánh đổi hợp lý: bạn sẽ nhận được môi trường kiểm soát bụi với độ tinh khiết cao và khả năng phản ứng nhanh, miễn là bạn cẩn thận trong quá trình lắp đặt.