Đảm bảo nhiệt độ chính xác trong việc sử dụng đèn hồng ngoại để làm nóng trong ngành bán dẫn
Nếu bạn muốn giảm lượng khí thải carbon trong quy trình sản xuất, chắc hẳn bạn đã nhận ra rằng các lò sưởi sử dụng điện trở thông thường tiêu tốn rất nhiều năng lượng. Việc chuyển sang sử dụng phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại là giải pháp tốt nhất. Nhưng có một vấn đề: bạn không thể đơn giản thay thế nguồn nhiệt hiện tại. Bạn cần một hệ thống cảm biến có khả năng theo kịp sự thay đổi nhiệt độ nhanh chóng mà không bị sai lệch hay hoạt động kém hiệu quả.
Chúng tôi thiết kế các cảm biến sao cho chúng có thể hoạt động ngay trong các bộ đèn hồng ngoại, nơi mà nhiệt độ rất cao.
Vấn đề liên quan đến sự chậm trễ trong việc phản ứng của cảm biến
Trong các thiết bị làm nóng bằng bán dẫn, ranh giới giữa “trạng thái hoàn hảo” và “trạng thái tồi tệ” rất mỏng manh. Chỉ cần một giây sai lệch, wafer có thể bị quá nhiệt và bị biến dạng. Đó thực sự là một cơn ác mộng.
Để tránh điều này, chúng tôi sử dụng các loại cảm biến loại K hoặc N chất lượng cao. Chúng đủ bền để chịu được bức xạ từ các đèn halogen mà không bị hỏng.
Nhưng bí quyết thực sự nằm ở độ dày của chiếc kim cảm biến. Chúng tôi chọn độ dày vừa phải. Tại sao ư? Bởi vì nếu chiếc kim cảm biến quá dày, nó sẽ gây ra sự chậm trễ trong việc phản ứng. Khi cảm biến báo rằng nhiệt độ quá cao, thì thiệt hại đã xảy ra rồi. Đó giống như việc lái xe khi mà đồng hồ tốc độ lại chậm hơn thực tế 5 giây. Thật không dễ chịu chút nào.
Xử lý vấn đề nhiễu và tác động của hóa chất
Môi trường sản xuất bán dẫn rất dễ bị nhiễu điện. Với các nguồn cung cấp điện áp cao và các yếu tố khác, các chỉ số đo nhiệt độ có thể bị nhiễu. Chúng tôi sử dụng các lớp bảo vệ để ngăn chặn nhiễu điện, giúp bạn có được tín hiệu chính xác.
Ngoài ra, còn có vấn đề liên quan đến lớp vỏ bọc của cảm biến. Nếu bạn làm việc trong môi trường chân không hoặc môi trường trơ, thép không gỉ hoặc Inconel là lựa chọn tốt. Nhưng bạn phải cân nhắc kỹ lưỡng. Lớp vỏ bọc dày sẽ bảo vệ cảm biến khỏi tác động của hóa chất, nhưng lại làm chậm tốc độ phản ứng của cảm biến. Đó là sự cân bằng giữa việc bảo vệ thiết bị và duy trì tốc độ hoạt động nhanh chóng.
Tiết kiệm năng lượng (và chi phí)
Ưu điểm của đèn hồng ngoại là nó chỉ làm nóng wafer mà thôi, chứ không phải toàn bộ căn phòng. Đó là cách làm thông minh hơn. Các cảm biến của chúng tôi tạo ra một vòng phản hồi chính xác, giúp tăng hiệu suất sử dụng năng lượng. Khi kết hợp chúng vào hệ thống vòng lặp khép kín, bạn có thể loại bỏ hiện tượng nhiệt độ tăng quá mức – điều này giúp tiết kiệm hàng nghìn watt năng lượng. Như vậy, bạn sẽ tiết kiệm được chi phí điện năng và giảm mức tiêu thụ năng lượng. Rất đơn giản phải không?