可持续的制造解决方案

停止为机器本身加热，改为直接为晶圆加热 大多数普通加热元件会将能量向各个方向释放。在空间狭小的半导体制造车间里，这无疑会带来很多麻烦。那些被浪费的熱量会作用于设备的内部墙壁，使得设备外壳变成一个巨大的散热器。这不仅效率低下，还可能让操作员受到烫伤。 我们采用不同的方式来解决这个问题。我们使用定向红...