用于晶圆的精密红外传感器
别再浪费热量了:为何金制反射器如此重要 在加热硅片时,每一瓦特的能量都是宝贵的资源。大多数人会使用普通的铝制反射器,但问题在于:铝会吸收大量能量,而不是将其引导到需要的地方。
因此,我们选择使用黄金作为反射材料。虽然听起来很高级,但实际上这只是出于实用性考虑。我们的目标就是确保红外能量能够直接作用...
红外发射器的陶瓷端盖
别再凭猜测来判断温度了:为什么陶瓷端盖如此重要 如果你想要打造一个“智能”制造系统,很快就会发现,如果硬件还停留在落后阶段,那么再好的软件也毫无用处。通常情况下,真正的问题并不在于加热元件本身,而在于电能输入到发射器处的连接点。
这就是陶瓷端盖发挥作用的地方。
金属端盖的缺陷 大多数人最初会选择普...
用于晶圆红外处理的精密加热技术
在芯片制造工厂里,人们很快就会明白:光刻胶烘烤温度即使只有0.5°C的波动,也足以导致关键尺寸出现纳米级的变化。因此,晶圆红外加热系统必须能够提供稳定的加热效果,且不会在加热过程中产生颗粒物,同时也不影响生产效率。
真正重要的是什么? 我们使用的晶圆红外加热模块采用短波卤素发光体,并配有闭环控制系...