בקו של 300 ממ, אי אפשר לאפשר לשלב החימום רווח של חצי מעלה נוספת. שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום יכול לגרום לשינויים בממדים הקריטיים של החומר, וכתוצאה מכך לפסילת כל המוצרים. רכיבי החימום של Axcelis נועדו לשמור על שליטה תרמית בתוך הטווח האופטימלי – בכל תהליך חימום, בכל משמרת.
מה חשוב באמת?
אנו בוחרים את רכיבי החימום שמתאימים למנועי ההלוגן בגלים קצרים, המתאימים לחדרי החימום של Axcelis. רכיבים אלו מספקים חימום מהיר וממוקד, עם זמן תגובה של פחות משנייה. האחידות בטמפרטורה על פני הוופר היא ±0.1°C, מה שמאפשר שליטה טובה בתהליך החימום. הגוף של הרכיב עשוי מקוורץ, והחיבורים שלו מתאימים לסביבות נקיות מהסוג Class 1, כאשר כמות החלקיקים שנוצרים היא כמעט אפסית. ניתן לצפות לתוצאות אחידות לאחר 5,000 שעות ויותר, עם שינויים של פחות מ-5%.
תהליך עיבוד הפוטורזיסט דורש שליטה קפדנית בטמפרטורה. על ידי החלפת הרכיבים הללו, ניתן להשיב את הטמפרטורות הרצויות, להפחית את השונות בממדים, ולהפחית את הנזקים הנגרמים כתוצאה משינויי טמפרטורה. החימום המהיר מקצר את זמן התהליך, מבלי לפגוע בשליטה בטמפרטורה.
שימוש באנרגיה פוחת, מכיוון שהרכיבים מתחממים רק כשצריך, ולא כתוצאה מחימום יתר. האמינות של הרכיבים מבטיחה פחות הפסקות בלתי מתוכננות ופחות החלפות מוקדמות, כך שזמן העבודה נשאר יציב.
אלו הפרטים שעוזרים למנוע בעיות. יש להתאים את הרכיבים למודל החדר ולמתח המתאימים. יש לבדוק את כיוון החיבורים ואת הלחץ שנוצר בחיבורים – כל טעות בחיבור עלולה לגרום לבעיות.
יש לבצע את ההחלפות בזמנים המתאימים, ולא בזמן הפסקות חירום. לאחר ההתקנה, יש לחכות זמן קצר עד שהרכיבים יתחממו. יש לבדוק את הפרמטרים של הרכיבים לפני שמשחררים את המוצרים לשימוש.