בשטח הייצור, שינויים תרמיים במהלך תהליכי החימום או האפייה של החומרים הפוטורזיסטיביים ניכרים מהר מאוד – דבר שגורם לשינויים ברוחב הקווים ולירידה באיכות המוצר. אם נאפשר לתהליכי החימום להתנהג באופן לא יציב, נראה שאריות של חומרים לאחר תהליך החימום, והבעיות הטכניות ילכו ויגדלו. פיתחנו מערכת לחימום הוואפרים שמטרתה להסיר את השינויים האלו.
הליבה של המערכת היא נורה הלוגן באור אינפרא-אדום בגלים קצרים, המונחת במעטפת של קוורץ. הנורה מאפשרת חימום מהיר וממוקד, עם זמן תגובה של פחות משנייה. באזור החימום, האחידות של טמפרטורת הוואפר נשמרת בטווח של ±0.1°C, כך שהחומר הפוטורזיסטיבי מקבל את אותה רמת חימום בכל פעם. בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, התהליך מתבצע ללא ייצור של חלקיקים, כך שהמסכות, העדשות ופני הוואפר נשארים נקיים.
הביצועים של המערכת נשארים יציבים לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם ירידה של פחות מ-5%. כך שניתן להשתמש בה 24/7, ללא צורך בכיול תמידי.
זו הסיבה שהמערכת כל כך יעילה: היא מאפשרת התאמה של טמפרטורת החימום לטמפרטורת ההתכה של החומר הפוטורזיסטיבי, מאפשרת חימום אפקטיבי לפני תהליך הליתוגרפיה, ומאפשרת חימום ללא נקודות חם. התוצאה היא שליטה טובה יותר ברוחב הקווים, פחות צורך בתיקונים, וניתן לתכנן את תהליכי הייצור בצורה יעילה יותר. גם צריכת האנרגיה יורדת – מכיוון שהמערכת מחממת רק את האזור הרלוונטי, ולא את כל החדר.
ההתקנה של המערכת פשוטה: יש להתאים את אינטרפייס החיבור של הכלי שלנו, ולוודא שיש מספיק מרווח בין הנורה לבין הציוד הסמוך. הנורה פועלת בעוצמה גבוהה, ולכן יש צורך בחיפויים ובמנגנוני בטיחות כדי להגן על המפעילים ועל הציוד הסמוך. יש לבצע בדיקות תקופתיות של הקוורץ כדי לשמור על ניקיון ועל יציבות תרמית.