फैब फ्लोर पर, आपको तो पता ही है कि क्या करना है। फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान अगर थोड़ा सा भी विचलन हो जाए, तो उत्पादन की गुणवत्ता प्रभावित हो जाती है, और पूरी खेप बर्बाद हो जाती है। थर्मल यूनिफॉर्मिटी एवं रासायनिक शुद्धता कोई साधारण मापदंड नहीं हैं… ये ही तो उत्पादन की गुणवत्ता एवं बर्बादी के बीच का अंतर हैं।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम ओज़ोन-मुक्त इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं… ऐसे लैंप शून्य ओज़ोन के साथ शॉर्ट-वेव एनआईआर प्रदान करते हैं… इससे क्लीनरूम की हवा की गुणवत्ता प्रभावित नहीं होती… चाहे वह क्लास 1–100 का क्षेत्र ही क्यों न हो। लैंप का उत्सर्जन स्तर ऐसा होता है कि फोटोरेजिस्ट जल्दी ही इसे अवशोषित कर लेता है… इससे वेफर की सतह पर तापमान की एकरूपता बनी रहती है… ±0.1°C के भीतर।
क्वार्ट्ज आवरण के कारण कणों की संख्या कम रहती है… और लैंपों की संरचना क्लीनरूम-अनुकूल होती है… लैंप का बॉडी हमेशा ठंडा रहता है… जिससे ऑप्टिक्स एवं अन्य घटक सुरक्षित रहते हैं। पुनरावृत्ति की सटीकता भी निर्धारित मापदंडों के भीतर ही रहती है… एवं 5,000+ घंटों तक लैंप की कार्यक्षमता स्थिर रहती है।
लिथोग्राफी में इसका क्या महत्व है?
लिथोग्राफी में, ऐसे लैंप पुरानी प्रणालियों की जगह लेते हैं… क्योंकि पुरानी प्रणालियों में ओज़ोन का निर्माण एवं तापमान में अस्थिरता होती है… ऐसे लैंपों के कारण थर्मल रैम्प जल्दी ही पूरा हो जाता है… इससे प्रक्रिया में लगने वाला समय कम हो जाता है… एवं विलायकों की मात्रा भी कम हो जाती है।
दोषों की संख्या कम हो जाती है… पुनर्निर्माण की आवश्यकता भी कम हो जाती है… एवं सीडी नियंत्रण भी अधिक सटीक हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि एनआईआर तकनीक अधिक कुशल है… एवं कम ऊष्मा उत्पन्न होती है। रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है… क्योंकि फिलामेंट धीरे-धीरे खराब नहीं होता।
शुरुआत में कौन-सी बातें ध्यान में रखनी आवश्यक है?
इंटीग्रेशन के लिए, रिफ्लेक्टर की ज्यामिति एवं फोकल दूरी को सब्सट्रेट के मार्ग के अनुरूप ही रखना आवश्यक है… लैंप की आउटपुट घनत्व को भी 200 मिमी एवं 300 मिमी वेफरों के लिए उचित रूप से ही निर्धारित करना आवश्यक है।
लैंप, निर्धारित वोल्टेज पर ही काम करता है… एवं ड्राइव इलेक्ट्रॉनिक्स को उचित ड्यूटी-साइकल सेटिंगों की आवश्यकता होती है… ताकि थर्मल साइकलिंग के कारण कोई समस्या न हो। थर्मल संतुलन प्राप्त करने में थोड़ा समय लगता है… इसलिए हवा के प्रवाह की योजना ऐसी ही बनानी आवश्यक है कि आसपास के घटक अपनी थर्मल सीमाओं के भीतर ही रहें।