Op de productielijn zijn de thermische schommelingen tijdens het verhitten van de dragerstoffen snel zichtbaar – dit leidt tot afwijkingen in de dikte van de lijnen en een lagere opbrengst. Als de parameters voor het verhitten niet nauwkeurig worden gecontroleerd, ontstaan er restanten na het eten van de dragerstoffen, waardoor er meer fouten optreden. Wij hebben ons systeem voor het verhitten van de wafers zo ontworpen dat deze variabiliteit wordt weggenomen.
Het hart van dit systeem is een halogeenlamp met kortegolf-infraroodlicht, geplaatst in een kwartsomhulsel. Deze lamp zorgt voor snelle, lokale verhitting met een reactietijd van minder dan een seconde. Hierdoor blijft de uniformiteit van de temperatuur op het niveau van de wafel binnen ±0,1°C. Op deze manier krijgt de dragerstof elke keer dezelfde thermische omstandigheden. In zuiverruimtes van klasse 1–100 vindt het proces plaats zonder dat er stofdeeltjes worden gegenereerd, waardoor het oppervlak van de maskers, lenzen en wafels schoon blijft.
De output blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een daling van minder dan 5%. Dit maakt het mogelijk om 24/7 te werken, zonder constante kalibratie.
Dit is waar de lamp echt zijn waarde bewijst: door de temperatuur van het verhitten van de dragerstoffen af te stemmen op het Tg-punt van de dragerstof, kan men ervoor zorgen dat de dragerstof voldoende wordt gevormd voordat de litografie begint. Ook wordt er geen ongelijkmatige verhitting veroorzaakt. Het voordeel is een betere controle over de dikte van de lijnen, minder herwerkingsvereisten en betere mogelijkheden om de procesparameters te plannen. Bovendien neemt het energieverbruik af, omdat alleen het specifieke gebied wordt verhit en niet de hele ruimte.
De installatie is eenvoudig: past de connectoren van uw apparaat goed toe en zorg ervoor dat er voldoende ruimte is voor het licht. De lamp werkt met hoge intensiteit, dus er moeten beschermingen en veiligheidsmaatregelen worden genomen om operatoren en nabije apparatuur te beschermen. Plan regelmatige controles van het kwarts om alles schoon en thermisch reproduceerbaar te houden.