Proč byste pravděpodobně měli opustit použití horkého vzduchu ve prospěch sušení waferů pomocí infrazáření
Pokud pracujete v oblasti výroby MEMS součástek, znáte ten problém spojený s sušením waferů po procesech mokrého leptání nebo čištění. Je to opravdu velká překážka. Většina provozoven, které navštěvuji, stále používá metodu s horkým vzduchem. Je to „stará spolehlivá“ metoda, ale upřímně řečeno – je pomalá.
Vzduch prostě špatně přenáší teplo. Strávíte tedy spoustu času čekáním, než se vzduch dostane přes povrchové napětí kapaliny, než začne rozpouštědlo vypařovat. Je to frustrující.
Časové ztráty
Přemýšlejte o tom, jak funguje konvekční pec. Musíte nejdřív vyhřát celou komoru, než můžete začít. Je to pomalý proces.
Infrazářivé ohřevy fungují jinak. Místo toho, aby se ohříval vzduch, infrazářivé vlny procházejí přímo kapalinou a působí na povrch waferu. V podstatě se tak eliminuje prostředník.
Viděl jsem, jak se doba sušení snížila z několika minut na jen několik sekund při použití krátkovlnného infrazáření. Není to proto, že by teplo bylo „lepší“ – prostě energie dorazí tam, kam potřebuje, okamžitě. Pro ty, kdo provozují vysokorychlostní linky, to znamená, že sušicí stanice zabírá méně místa a výrobky se dostávají dál rychleji.
Nevýhody
Samozřejmě to není tak jednoduché. Infrazářivé ohřevy obsahují velké množství energie v malém prostoru. Na rozdíl od jemného ventilátoru vytvářejí infrazářivé lampy intenzivní teplotní gradient.
Pokud vaše regulátory a senzory nejsou správně nastaveny, máte problém. Můžete snadno přehřát okraje waferu nebo způsobit termický šok. Musíte také dbát na vzdálenost mezi lampou a waferem. Pár milimetrů chyby stačí k tomu, aby vznikly „horké body“, které mohou zkazit váš výrobek.
Zavedení do vaší linky
Výměna konvekční pece za infrazářivý systém obvykle znamená jednoduchou fyzickou výměnu v komoře, ale nezapomeňte na elektroinstalaci.
Infrazářivé lampy spotřebovávají hodně energie, zejména během počátečního zapínání. Ujistěte se, že vaše elektrické panely dokážou zvládnout maximální zátěž, než zapnete světlo.
Jakmile máte řešeno napájení, ta nejlepší věc je ticho. Žádné ventilátory, žádné trubky, žádný hluk. Méně pohyblivých částí znamená méně poruch a mnohem méně vibrací v blízkosti citlivých senzorů. Je to prostě… čistší.