Hören Sie auf, Ihre Maschine zu heizen – heizen Sie stattdessen die Wafer.
Die meisten herkömmlichen Heizelemente strahlen Energie in alle Richtungen ab. In einer engen Halbleiterfabrik ist das ein echtes Problem. Die ganze Energie geht an die Innenwände der Geräte – dadurch wird das Chassis zu einer Art „Radiator“. Das ist nicht nur ineffizient, sondern kann auch dazu führen, dass der Bediener Verbrennungen erleidet.
Wir gehen anders vor: Wir verwenden Richtungs-Infrarotlampen, die die Energie genau dorthin lenken, wo sie benötigt wird – direkt auf die Wafer oder Substrate.
Die Energie kommt genau dorthin, wo sie hingehört
Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – anstelle einer Glühbirne. Durch den Einsatz von Reflektoren und bestimmten Wellenlängen können wir die Energie gezielt lenken. Anstatt gegen die ständige Wärmezunahme im Inneren des Geräts anzukämpfen, geht die Energie direkt ins Ziel. Die Innenwände bleiben kühl – dadurch entsteht ein besser kontrolliertes Umfeld.
Die technischen Aspekte
Wenn Sie diese Lampen auswählen, spielen Leistung und Spannung eine wichtige Rolle für die Geschwindigkeit, mit der die gewünschten Temperaturen erreicht werden. Wenn Sie Lampen mit hoher Leistung wählen, erreichen Sie die gewünschten Temperaturen in Sekundenschnelle.
Aber es gibt einen Haken: Eine solche Wärmestärke setzt viel Druck auf die Komponenten des Geräts. Sie müssen sicherstellen, dass die Stromversorgung und die Verkabelung mit der maximalen Strömung fertigwerden können – sonst müssen Sie häufiger Sicherungen austauschen. Ein weiterer Tipp: Wenn Sie die Leistung erhöhen, ohne einen adecuaten Kühlplan zu haben, werden die Filamente viel zu früh verbrennen.
Ein sichererer Arbeitsplatz und weniger Platzbedarf
Das Beste daran: Wenn man diese „unnötige Wärme“ beseitigt, wird das äußere Gehäuse der Maschine nicht mehr zur Gefahr. Die Bediener können Wartungsarbeiten durchführen, ohne befürchten zu müssen, das heiße Chassis zu berühren.
Wir haben diese Lampen als Ersatzteile konzipiert. Sie müssen nicht Ihre gesamte Anordnung neu gestalten oder mehr Platz schaffen – Sie tauschen einfach die Heizelemente aus und erhalten sofort eine bessere Wärmeverteilung.
Ihre Maschine läuft kühler – und Ihr Team ist sicherer. Bitte halten Sie die Reflektoren sauber. Ein wenig Staub auf den Spiegeln verstärkt die Streuung des Lichts – dann wird wieder übermäßig erwärmt.