Hören Sie auf, die Wände der Maschine zu erhitzen! Die meisten Infrarotlampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab – also in einem 360-Grad-Winkel....

Wie man verhindert, dass die Heizsysteme für Siliziumwafer explodieren Beim Erhitzen von Siliziumwafern darf es auf keinen Fall zu Fehlern kommen....

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum Goldreflektoren tatsächlich wichtig sind Wenn man Siliziumwafer erhitzt, ist jeder einzelne Watt eine...

Warum man wohl auf die Verwendung von Warmluft zum Trocknen von Wafern verzichten sollte Wenn Sie in der Herstellung von MEMS-Komponenten arbeiten,...

Sicherstellen der Sicherheit in Bereichen mit explosiven Stoffen Wenn man Wafers in einer chemischen Reinigungsanlage erhitzt, braucht man mehr als...

In der Fertigungshalle lernt man schnell, dass eine Abweichung von 0,5 °C bei der Temperatur des Fotolacks zu Abweichungen in den kritischen...

In der Fertigungshalle zeigen sich die Temperaturschwankungen während des „Burn-in“-Verfahrens oder beim Erhitzen des Photoresists schnell – in Form...

In der Fertigungshalle ist eine thermische Schwankung keine Toleranz – sie stellt vielmehr ein absolutes Limit dar. Selbst eine geringe...

Auf der Fertigungsebene zeigt sich eine Drift der Wafer-Trocknungstemperatur schnell – direkt im Photoresist-Profil. Man erkennt sie als T-Spitze...

Auf dem Fertigungsboden ist das Aushärten von Polyimid nicht nur ein weiterer Schritt – es ist ein Hebel für die Ausbeute. Wird die Temperatur um...