حفظ ایمنی در مناطق پاکسازی مواد منفجره
وقتی که در یک دستگاه پاکسازی شیمیایی، ویفرها را گرم میکنید، نیاز به چیزی فراتر از یک منبع حرارتی دارید؛ شما به آرامش ذهنی نیز نیاز دارید.
اگر از حلالهای قابل اشتعال یا منفجره استفاده میکنید، یک لامپ مادون قرمز ساده تنها یک ابزار نیست؛ بلکه خودش یک منبع خطر محسوب میشود. به همین دلیل، ما گرمکنهای خود را با پوششهای ویژه ساختهایم؛ این پوششها، خطرات ناشی از اشتعال را کاهش داده و استحکام دستگاه را حفظ میکنند، حتی در شرایطی که مواد شیمیایی خطرناک باشند.
نحوه مدیریت بدنه دستگاه
ما اجازه نمیدهیم لوله کوارتز در معرض هوا قرار بگیرد؛ این کار باعث ایجاد مشکلات میشود.
برای جلوگیری از برخورد بخارات فرار با الکتروژنهای گرمایشی و ایجاد فاجعه، ما همه چیز را در یک بدنه ضدانفجار قرار میدهیم. از شیشه کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این شیشه تحت فشار تغییر شکل نمیدهد؛ در نتیجه، تشعشعات مادون قرمز دقیقاً به محل مورد نظر بر روی ویفرها میرسند.
و در مورد سیمها چطور؟ ما اتصالات الکتریکی را با استفاده از واشرهای مقاوم در برابر دما بسته میکنیم؛ این کار مانع از رسیدن گازهای خورنده به قطعات الکترونیکی میشود و از خرابیهای غیرمنتظره جلوگیری میکند.
تنظیم دمای مناسب
نکته مهم این است که ما از تشعشعات مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ این روش به ما امکان میدهد تا سطح ویفرها را مستقیماً گرم کنیم. این روش انرژی را صرف گرم کردن هوا یا محیط اطراف ویفرها نمیکند؛ این موضوع بسیار مهم است، زیرا از نزدیک شدن به نقاط اشتعال حلالها جلوگیری میکند.
ما میزان دقت در تنظیم دما را بالا نگه میداریم؛ اگر دما تنها چند درجه تغییر کند، نه تنها ویفرها خراب میشوند، بلکه سیستمهای هشداردهنده نیز فعال شده و کل خط تولید متوقف میشود. هیچ کس این را نمیخواهد.
واقعیتهای عملی
حالا، بیایید درباره مزایا و معایب این روش صادق باشیم.
گرمایش مادون قرمز با چگالی بالا، نیاز به انرژی زیادی دارد؛ زمان گرم شدن سریع، مزیت خوبی برای سرعت تولید است، اما تمرکز این گرما در یک نقطه، به بدنه دستگاه فشار زیادی وارد میکند.
اگر بدنه دستگاه به درستی هواخرج نشود، واشرهای آن خیلی سریع خراب میشوند؛ این یک قانون فیزیکی است.
ما این دستگاهها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین خطوط پاکسازی موجود شوند؛ شما میتوانید از چگالی حرارتی لازم برای خشک کردن یا ترمیم سریع ویفرها استفاده کنید، اما بدنه دستگاه، الکتریسیته و مواد شیمیایی را از هم جدا نگه میدارد.
بدون جرقه، بدون نشت؛ فقط یک فرآیند کارآمد.