در فرآیند تولید، میدانید که چه اتفاقاتی میافتد. حتی انحراف نیم درجهای در طول فرآیند پخت فوتورزیست، میتواند باعث اختلال در ابعاد مهم قطعات شود و در نتیجه کل محموله از بین برود. یکنواختی دمایی و خلوص شیمیایی، ارقام سادهای نیستند؛ بلکه تعیینکننده موفقیت یا شکست فرآیند تولید هستند.
آنچه واقعاً اهمیت دارد
ما از لامپهای مادونقرمز بدون اوزون استفاده میکنیم؛ این لامپها موجهای کوتاه NIR را بدون هیچ گونه اوزونی تولید میکنند. بنابراین، ترکیبات هوای اتاقهای پاک نیز تحت تأثیر قرار نمیگیرد، حتی در اتاقهای کلاس ۱ تا ۱۰۰. تابش لامپ به گونهای تنظیم شده که فوتورزیست به سرعت جذب شود و یکنواختی دمایی در سطح ویفر حفظ شود؛ انحراف دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است.
تعداد ذرات نیز کم میماند، زیرا پوشش کوارتزی لامپ بسته است و لامپها نیز سازگار با اتاقهای پاک هستند. بدنه لامپ نیز در نقاط مربوطه خنک باقی میماند؛ این امر از آسیب به لنزها و سایر اجزاء محافظت میکند. قابلیت تکرارپذیری لامپ نیز به گونهای است که میزان تابش در محدوده مشخصی باقی بماند؛ همچنین، پایداری خروجی لامپ نیز در بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار تأیید شده است.
چرا این لامپها در فرآیند لیتوگرافی مفید هستند
در فرآیند لیتوگرافی، این لامپها جایگزین سیستمهای قدیمی میشوند؛ سیستمهایی که همواره در معرض خطر تجمع اوزون و نوسانات دمایی بودند. برای فرآیندهای نرم و سخت، پاسخگویی لامپها به سرعت انجام میشود؛ بنابراین، زمان لازم برای رسیدن به تعادل دمایی کاهش مییابد و میزان مواد حلشونده نیز کاهش مییابد.
تراکم نقصها کاهش مییابد، تعداد کارهای تکراری نیز کم میشود و کنترل کیفیت نیز قابل پیشبینی میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا انتقال انرژی در لامپهای NIR کارآمد است و گرمای کمتری تولید میشود. همچنین، زمان نگهداری لامپها نیز طولانیتر میشود؛ زیرا فیلامنتهای لامپها در طول زمان خراب نمیشوند.
چیزهایی که باید از همان ابتدا در نظر گرفته شوند
یکپارچگی لامپها به مطابقت هندسه منعکسکنندهها و فاصله کانونی آنها با مسیر فرآیند تولید بستگی دارد. همچنین، باید توان خروجی لامپها نیز با بار حرارتی ویفرهای ۲۰۰ میلیمتری و ۳۰۰ میلیمتری سازگار باشد.
لامپها با ولتاژ خط کار میکنند و جریان ورودی آنها نیز مشخص است؛ همچنین، سیستمهای کنترلی لامپها نیز باید به گونهای تنظیم شوند که از فشار ناشی از تغییرات دمایی جلوگیری شود. انتظار میرود که زمان لازم برای رسیدن به تعادل دمایی کوتاه باشد؛ همچنین، باید جریان هوا نیز به گونهای تنظیم شود که اجزای مجاور در محدوده دمایی مناسب خود باقی بمانند.