水素センサー用ヒーターの正しい取り扱い方法 水素センサーを製造する際には、温度制御を正確に行うことが最も重要です。もし化学的な処理が安定していなければ、作られたセンサーは全て無駄になってしまいます。私たちは、高温環境下でも問題なく動作するようなヒーターを製造していますが、実際に問題になるのは「電気...

機械の壁を加熱するのはやめましょう ほとんどの赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位に熱が行き渡ってしまいます。ウェーハ処理装置では、これは問題です。エネルギーの大部分がウェーハに当たる代わりに、機器の内壁に集中してしまいます。 これは電力の無駄遣いです。さらに悪いこ...

熱の無駄遣いをやめよう：なぜゴールド製の反射板が重要か シリコンウェーハを加熱するとき、1ワットというエネルギーも大切な資源です。多くの人々は標準的なアルミニウム製の反射板を使っていますが、問題は、アルミニウムが多くのエネルギーを吸収してしまうことです。つまり、必要な場所にエネルギーを送る代わりに...

なぜ、ホットエアを使ったウェーハ乾燥ではなく、IR乾燥を使うべきか MEMSの製造に従事している方なら、湿式エッチングや洗浄処理の後にウェーハを乾燥させるのがどれほど面倒かご存知でしょう。これは本当に大きなボトルネックです。私が訪れた工場のほとんどでは、依然としてホットエアを使っています。これは「...

なぜスマートセンサーの製造において、オーブンではなく赤外線を利用するのか？ 長年にわたり、半導体のパッケージングには巨大な対流式オーブンが使われてきました。しかし、状況は変わりつつあります。私たちは赤外線による硬化処理へと移行しています。その理由は、世界中で「無鉛化」や環境に優しいエネルギーの利用...