機械の壁を加熱するのはやめましょう
ほとんどの赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位に熱が行き渡ってしまいます。ウェーハ処理装置では、これは問題です。エネルギーの大部分がウェーハに当たる代わりに、機器の内壁に集中してしまいます。
これは電力の無駄遣いです。さらに悪いことに、機械の外側が非常に高温になり、人が火傷する可能性もあります。
だからこそ、方向性のある加熱方式を利用するのです。
熱を本来あるべき場所に送る
これは、通常の電球から懐中電灯に切り替えるのと同じです。内部の反射板や特殊なコーティングを使って、放射熱を前方に向けて送ります。
このようにして、熱が直接ウェーハに届き、機器の内壁には当たらなくなります。空気や鋼鉄の壁を加熱する必要もなくなります。また、施設の冷却システムの負担も大幅に軽減されます。全体的に、すべてが楽になります。
難しい点とその対処法
エネルギーを集中させると、ウェーハ表面の温度密度が高くなります。これは、温度の均一性が重要な精密加工には好都合です。
しかし、焦点を正しく調整する必要があります。
ランプが近すぎると、熱が集中してしまいます。逆に遠すぎると、光が拡散してしまい、方向性のある加熱の意味がなくなります。チャンバーの内壁を冷やすためには、正確な位置合わせが必要です。
安全性とその他の注意点
壁を冷やすことは、単に電気代を節約するためだけではありません。火傷を防ぐためでもあります。内部が冷たく保たれていれば、メンテナンスや工具の装着作業もずっと楽になります。
最良な点は、これらが標準的な赤外線ランプの交換用部品として使えることです。石英製のケースを使用しているため、熱衝撃にも耐えられます。
一つ注意点があります。電源を再確認してください。出力が集中しているため、通常の電球とは異なる電流が流れる可能性があります。必ずワット数が一致しているかを確認してください。