半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もしあなたがクラス100の環境で作業しているなら、その厳しさはご存知でしょう。わずかなほこりやガスの漏れだけで、シリコンウェーハは台無しになってしまいます。まさに悪夢です。一般的なヒーターでは、こんな状況に対応できません。使用時に粒子が飛...