적절한 온도를 유지하는 것이 중요합니다: 왜 금으로 된 반사체가 필수적인가 반도체 공장에서 치유나 굽기 과정을 할 때는 “그럭저럭 괜찮다”는 식으로는 안 됩니다. 온도를 정확히 제어해야 합니다. 대부분의 사람들은 일반적인 가열 요소를 사용하지만, 문제는 그러한 요소들...

팹 플로어에서 웨이퍼 건조 온도의 드리프트는 빠르게 나타난다—포토레지스트 프로파일에서 직접 확인할 수 있다. 현상 후에는 T-토핑으로, 식각 후에는 선폭 제어 불안정으로 나타난다. 우리는 열적 드리프트를 제거하기 위해 저비용 건조 램프 전구를 개발했다. 기술적으로 중...