지속 가능한 제조 솔루션

기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 일반적인 가열 요소들은 에너지를 사방으로 방출합니다. 좁은 반도체 제조 공장에서는 이런 방식은 문제가 됩니다. 낭비된 열이 장비의 내부 벽에 닿아서 장비 자체가 거대한 라디에이터가 되어버립니다. 이는 비효율적일 뿐만...