Below you will find pages that utilize the taxonomy term “조광 가능” 조명 강도 조절이 가능한 반도체 히터 램프 리소그래피 공정에서는 베이크 온도가 0.5°C만 변동해도 선의 굵기가 나노미터 단위로 변할 수 있으며, 이로 인해 몇 시간에 걸쳐 진행된 작업이 모두 무산될 수 있습니다. 우리는 이러한 온도 변동을 원천적으로 방지하기 위해 조광이 가능한 반도체 히터를 개발했습니다.... Read more...
조명 강도 조절이 가능한 반도체 히터 램프 리소그래피 공정에서는 베이크 온도가 0.5°C만 변동해도 선의 굵기가 나노미터 단위로 변할 수 있으며, 이로 인해 몇 시간에 걸쳐 진행된 작업이 모두 무산될 수 있습니다. 우리는 이러한 온도 변동을 원천적으로 방지하기 위해 조광이 가능한 반도체 히터를 개발했습니다.... Read more...
