열 낭비를 막아야 합니다. 왜 골드 반사체가 중요한지 알아보겠습니다. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 1와트라는 에너지도 소중한 자원입니다. 대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄 반사체를 사용하지만, 문제는 알루미늄이 너무 많은 에너지를 흡수한다는 점입니다. 알루미늄은 열...

팹에서는 포토레지스트를 가열하는 온도가 0.5°C만 변해도 치명적인 파라미터들이 나노미터 단위로 변할 수 있다는 것을 빠르게 알게 됩니다. 웨이퍼를 가열할 때는 반복 가능한 일정한 열 프로필을 유지해야 하며, 공정 중에 이물질이 발생하거나 가동 시간이 줄어드는 일이...