Mengapa anda sebaiknya berhenti menggunakan udara panas untuk proses pengeringan wafer menggunakan teknologi IR
Jika anda bekerja dalam bidang pembuatan MEMS, anda pasti tahu betapa menyusahkannya proses pengeringan wafer setelah proses etching atau pembersihan. Ini merupakan halangan besar dalam proses pengeluaran. Kebanyakan kilang yang saya kunjungi masih menggunakan kaedah udara panas untuk mengeringkan wafer. Ia merupakan cara lama yang masih digunakan, tetapi sejujurnya, ia sangat lambat.
Udara memang tidak begitu efektif dalam mentransfer haba. Anda perlu menunggu cukup lama agar udara dapat menembusi permukaan cecair sebelum cecair tersebut mula menguap. Ini sangat menyusahkan.
Kekurangan kaedah udara panas
Fikirkan bagaimana cara kerja ketuhar konveksi. Anda perlu memanaskan seluruh ruang di dalam ketuhar terlebih dahulu sebelum proses pengeringan boleh dimulakan. Proses ini memerlukan masa yang lama.
Sebaliknya, teknologi pemanasan IR berfungsi secara berbeza. Gelombang IR dapat menembusi cecair secara langsung dan sampai ke permukaan wafer. Dengan cara ini, proses pengeringan menjadi lebih cepat. Saya pernah melihat masa yang diperlukan untuk mengeringkan wafer berkurangan dari beberapa minit menjadi hanya beberapa saat sahaja dengan menggunakan teknologi IR. Bukan kerana habanya lebih baik, tetapi tenaga tersebut dapat disalurkan ke tempat yang diperlukan dengan cepat. Bagi mereka yang bekerja dalam skala besar, ini bermakna stesen pengeringan akan mengambil ruang yang lebih sedikit, dan proses pengeluaran akan berjalan lebih cepat.
Kelemahan teknologi IR
Namun, bukan semuanya sempurna. Pemanas IR mempunyai kuasa yang tinggi dalam ruang yang kecil. Berbeza dengan kipas biasa, lampu IR menciptakan gradien suhu yang sangat tinggi. Jika pengawal PID dan sensor tidak dikonfigurasikan dengan betul, ia boleh menyebabkan masalah. Anda juga perlu memastikan jarak antara lampu IR dan wafer tepat. Jika jaraknya salah, ia akan menyebabkan kawasan tertentu pada wafer menjadi terlalu panas, sehingga merosakkan wafer tersebut.
Cara memasangnya dalam sistem pengeluaran
Menggantikan ketuhar konveksi dengan sistem pemanasan IR biasanya merupakan proses yang mudah. Namun, jangan lupa tentang kabel elektrik yang digunakan. Lampu IR memerlukan arus yang banyak, terutamanya pada permulaan proses pemanasan. Pastikan panel elektrik anda mampu menanggung beban maksimum sebelum anda menyalakan lampu tersebut.
Setelah semua persiapan selesai, kelebihan utamanya ialah tiada bunyi bising. Tiada kipas, tiada saluran udara, tiada bunyi bising. Jumlah komponen yang bergerak juga berkurangan, sekali gus mengurangkan risiko kerosakan dan getaran pada sensor sensitif. Ia memang lebih baik.