Di bilik pengeluaran, prosedurnya sudah diketahui. Sebarang perubahan sudut sebanyak setengah darjah semasa proses pemanasan bahan fotoresist boleh menyebabkan dimensi komponen berada di luar spesifikasi yang ditetapkan, dan ini akan merosakkan keseluruhan kumpulan produk tersebut. Keseragaman suhu dan kebersihan kimia bukanlah angka-angka yang terpapar pada panel kawalan sahaja; ia merupakan faktor penting untuk memastikan kualiti produk yang dihasilkan.
Apa yang benar-benar penting di sebaliknya
Kami menggunakan lampu inframerah tanpa ozon, yang menghasilkan gelombang pendek tanpa sebarang pelepasan ozon. Dengan cara ini, kualiti udara di bilik bersih tetap terjaga, walaupun dalam ruang kelas 1–100. Intensiti cahaya yang dihasilkan disesuaikan agar bahan fotoresist dapat menyerap cahaya dengan cepat, dan keseragaman suhu pada permukaan wafer kekal stabil, iaitu antara ±0.1°C.
Jumlah zarah dalam udara juga dapat dikurangkan kerana kulit luar lampu diperbuat daripada kuarsa yang kedap udara, dan komponen lampu juga direka agar sesuai digunakan dalam bilik bersih. Badan lampu pula kekal sejuk, sehingga komponen optik dan bahan-bahan lain di sekelilingnya tidak terjejas. Ketepatan operasi lampu dipastikan agar tetap berada dalam julat yang ditetapkan sepanjang masa, dan kestabilan keluaran lampu pula dapat dipastikan selepas 5,000 jam penggunaan.
Mengapa ini penting dalam proses litografi
Dalam proses litografi, lampu-lampu ini menggantikan sistem lama yang selalu berisiko menyebabkan penumpukan ozon dan ketidakkonsistenan suhu. Untuk proses pemanasan yang cepat atau perlahan, lampu ini memberikan respons yang cepat, sehingga proses pemanasan dapat dilakukan dengan lebih efisien. Ini seterusnya membantu mengurangkan masa yang diperlukan untuk mencapai suhu yang diinginkan, serta mengurangkan penggunaan bahan pelarut.
Kerapuhan produk berkurangan, jumlah produk yang perlu diperbaiki juga berkurangan, dan kawalan diameter cakera juga menjadi lebih tepat. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana proses pemindahan tenaga menggunakan gelombang inframerah adalah efisien, dan haba yang terhasil juga berkurangan. Selain itu, tempoh penyelenggaraan lampu juga boleh diperpanjang, kerana filamen lampu tidak mudah rosak atau menurun kualitinya seiring waktu.
Apa yang perlu dipertimbangkan sebelumnya
Proses integrasi lampu ini memerlukan pemilihan geometri reflektor dan jarak fokus yang sesuai dengan laluan substrat. Anda juga perlu menyesuaikan intensiti cahaya yang dihasilkan oleh lampu agar sesuai dengan beban haba pada wafer berukuran 200 mm dan 300 mm.
Lampu ini beroperasi pada voltan yang ditetapkan, dengan arus masuk yang terkawal. Elektronik penggerak lampu pula perlu disusun dengan betul agar tidak menyebabkan tekanan tambahan akibat perubahan suhu. Proses pemanasan lampu memerlukan masa yang singkat untuk mencapai keseimbangan suhu yang diinginkan. Aliran udara juga perlu diatur dengan baik agar komponen-komponen di sekitarnya tetap berada dalam lingkungan suhu yang sesuai.