Mengurangkan Pelepasan Karbon dalam Proses Pengeluaran: Mengapa Lampu Inframerah UHP Berkesan
Jika anda mengendalikan kilang pengeluaran separa siap, anda pasti tahu betapa pentingnya untuk mencapai sasaran neutraliti karbon. Ini bukan sekadar syarat yang perlu dipenuhi oleh syarikat, tetapi juga merupakan masalah besar dari segi penggunaan tenaga. Sebahagian besar bahan buangan tersebut berpunca daripada proses pemprosesan termal.
Selama bertahun-tahun, kita bergantung pada kaedah pemanasan konvensional. Masalahnya ialah kaedah ini tidak efisien. Anda perlu memanaskan seluruh dinding bilik pemprosesan hanya untuk meningkatkan suhu wafer tersebut. Ia sama seperti menyalakan semua pemanas di rumah hanya untuk memanaskan sepotong pizza sahaja.
Itulah sebabnya kita beralih kepada lampu inframerah berketepatan tinggi (UHP). Lampu ini memanaskan wafer secara langsung, tanpa memanaskan udara atau dinding bilik pemprosesan.
Inilah rahsianya:
Lampu ini menggunakan sinaran inframerah gelombang pendek. Berbeza dengan kaedah konvensional yang memerlukan masa yang lama dan bergantung pada pergerakan gas, lampu UHP mengeluarkan foton yang dapat memanaskan permukaan wafer dengan cepat.
Kita menggunakan lampu ini kerana ia memiliki kepadatan tenaga yang tinggi, jadi masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer menjadi sangat singkat. Dengan cara ini, penggunaan tenaga untuk setiap wafer akan berkurangan. Ini merupakan keuntungan bagi alam sekitar dan juga bagi kos operasi kilang.
Namun, anda tidak boleh menggunakan lampu biasa di sini. Dalam persekitaran UHP, “pembebasan gas” merupakan masalah besar. Sebarang kotoran kecil pun boleh merosakkan keseluruhan produk yang dihasilkan. Kita menggunakan kuarsa sintetik yang mengandungi kandungan hidroksil yang sangat rendah, agar kotoran logam tidak masuk ke dalam silikon.
Kita membersihkan komponen-komponen tersebut hingga mencapai tahap sub-ppb. Jika anda cuba menjimatkan sedikit wang dengan menggunakan lampu industri biasa, hasil pengeluaran anda akan terjejas. Sangat mudah difahami.
Terdapat satu kompromi yang perlu dihadapi:
Kerana lampu UHP mempunyai kekuatan pemanasan yang tinggi, sistem penyejukan perlu bekerja lebih keras. Anda perlu memastikan sistem penyejukan mampu menangani lonjakan suhu di kawasan lampu tersebut.
Berita baiknya ialah lampu ini direka untuk digunakan sebagai pengganti alat CVD atau annealing yang ada sekarang. Tidak perlu mengganti semua peralatan tersebut. Dengan cara ini, penggunaan tenaga keseluruhan kilang dapat dikurangkan. Ini merupakan cara yang efektif untuk mengurangkan pelepasan karbon tanpa melambatkan kelajuan pengeluaran.