W warunkach produkcyjnych szybko się dowiaduje się, że nawet odchylenie temperatury podczas wysuszania fotorezystu o 0,5°C może spowodować zmianę krytycznej wymiary o kilka nanometrów. Systemy grzania płytek metodą IR muszą zapewniać spójne profile termiczne z seansu na seans, bez wprowadzania cząsteczek do procesu i bez straty czasu pracy.
Co jest istotne w tym procesie
Używamy modułów grzania płytek metodą IR z emiterami halogenowymi o krótkich falach i z kontrolą w zamkniętym obiegu. Dzięki temu uzyskujemy jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki na poziomie ±0,1°C. Reakcja systemu następuje w mniej niż sekundę, dzięki czemu profile termiczne pozostają stabilne, a wartości parametrów nie ulegają zmianom. Moduły te nadają się do używania w środowiskach klasy 1–100, przy użyciu materiałów o niskiej ilości emisyjności gazów oraz konstrukcji, która ogranicza powstawanie cząsteczek. Wydajność modułu pozostaje stabilna przez ponad 5 000 godzin, przy odchyleniu intensywności grzania poniżej 5%.
Dlaczego to ma znaczenie w litografii
W litografii kluczowa jest kontrola temperatury. Metody miękkiego i twardego suszenia pozwalają szybciej osiągnąć docelową temperaturę i utrzymać ją przez dłuższy czas, dzięki czemu grubość fotorezystu, jego jednolitość oraz inne parametry pozostają przewidywalne. Dzięki temu uzyskujemy lepsze wyniki, mniej potrzeby ponownej obróbki materiału i mniej odpadów. Zużycie energii również maleje – system nagrzewa się na żądanie i szybko chłodzi się, bez przekroczeń limitów. Moduły te pasują do standardowego sprzętu semikondukcyjnego i spełniają międzynarodowe normy dotyczące interfejsów i kontroli.
Na co należy zwrócić uwagę przy planowaniu
Podczas instalacji należy dostosować mechaniczne parametry urządzenia oraz jego interfejs elektryczny – sprawdź typ złączy, napięcie oraz kompatybilność chłodziwa z twoją platformą. Oczekuj krótkiego okresu kalibracji, aby ustawić odpowiednie profile termiczne dla twoich płytek. Gęstość mocy wyjściowej jest dostosowana do potrzeb konkretnego etapu procesu, więc nie są obsługiwane profile o bardzo wysokiej mocy. Biorąc to pod uwagę, urządzenie będzie mogło pracować 24/7 przy regularnej konserwacji.