На лінії 300 мм не можна допускати жодних відхилень у температурі під час процесу висушування фоторезисту. Відхилення температури на 0,5°C вже достатньо, щоб це вплинуло на критичні параметри продукції та призвело до її зіпсування. Запчастини нагрівальних елементів Axcelis розроблені таким чином, щоб забезпечити контроль температури протягом усього процесу – під час кожного циклу обробки.
Що є важливим? Ми використовуємо нагрівальні елементи, які працюють на основі короткохвильових галогенних джерел світла, призначених для використання в камерах Axcelis. Це забезпечує швидке та точне нагрівання з часом реакції менше секунди. Рівномірність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C, що дозволяє стабілізувати параметри процесу висушування. Кварцовий корпус та спеціально розроблені елементи з’єднання дозволяють ефективно контролювати температуру навіть у умовах класу чистоти 1; кількість частинок, які утворюються, мінімальна. Очікується можливість повторного використання елементів протягом 5 000+ годин, з відхиленнями температури менше 5%.
Процес обробки фоторезисту полягає у контролі температури. Використання цих запчастин дозволяє відновити правильну температурну криву, зменшити варіації параметрів продукції та уникнути її зіпсування через температурні фактори. Швидке нагрівання скорочує час процесу без втрати контролю над параметрами.
Витрати енергії зменшуються, оскільки елемент нагрівається лише тоді, коли це необхідно. Надійність елементів забезпечує менше неспланованих зупинок та меншу кількість необхідних замін, що дозволяє зберігати стабільну роботу обладнання.
Ось деталі, які допомагають уникнути проблем: необхідно підбирати запчастини відповідно до конкретної моделі камери та напруги. Також потрібно перевірити правильність з’єднання елементів – будь-яка помилка може призвести до проблем. Заміну елементів слід проводити під час планового технічного обслуговування, а не під час аварійних ситуацій. Після встановлення елементів необхідно провести коротку перевірку їх роботи перед початком процесу обробки.