На виробничій лінії швидко розумієш, що навіть зміна температури нагрівання фоторезисту на 0,5°C може призвести до зміни критичного розміру на кілька...

На виробничій лінії температурні перепади не є допустимими – це пряма перешкода для правильної роботи обладнання. Навіть незначне зміщення...