На поверхні пластини швидко проявляються температурні коливання під час процедури нагрівання або випалювання фотолаку – це призводить до зміни ширини ліній та зниження якості продукції. Якщо допустити відхилення параметрів нагрівання, то після процедури етчінгу залишаться залишки речовин, що призведе до проблем у роботі обладнання. Ми створили систему нагріву пластин, яка дозволяє усунути ці відхилення.
Серцем цієї системи є галогенна лампа короткохвильового інфрачервоного світла, розташована в кварцовому корпусі. Вона забезпечує швидке та локалізоване нагрівання з часом реакції менше секунди. У всій зоні нагрівання однорідність температури на поверхні пластини залишається в межах ±0,1°C, тож фотолак отримує однаковий температурний режим на кожному етапі обробки. У чистих приміщеннях класу 1–100 процес обробки відбувається без утворення частинок, що забезпечує чистоту поверхні маски, лінз та самої пластини.
Якість продукції залишається стабільною протягом 5 000 і більше годин, з допуском зниження якості менше 5%. Це дозволяє експлуатувати обладнання 24/7 без необхідності постійної налаштування.
Саме тут лампа виконує свою функцію: вона забезпечує правильну температуру нагрівання фотолаку, дозволяє досягти потрібного рівня зв’язування молекул фотолаку перед процедурою літографії, а також забезпечує рівномірне нагрівання пластини без утворення „гарячих точок“. Це сприяє кращому контролю якості продукції, зменшенню кількості продуктів, які потребують корекції, та дозволяє планувати процеси обробки. Крім того, споживання енергії також зменшується – адже лампа нагріває лише потрібну ділянку, а не всю камеру.
Встановлення лампи є простим: достатньо підібрати інтерфейс підключення до обладнання та переконатися у наявності достатнього простору для оптичного шляху. Лампа працює з високою інтенсивністю, тож необхідно використовувати захисні елементи та механізми для захисту операторів та сусіднього обладнання. Також необхідно регулярно перевіряти кварцовий корпус лампи, щоб все залишалося чистим та забезпечувалося однорідне температурне режиму.