晶圆加热的安全距离

如何防止晶圆加热系统出现故障 在加热硅晶圆时，容不得任何失误。哪怕有一点点电弧或漏电现象，都可能毁掉整批晶圆，同时还会损坏控制板。这简直就是一场噩梦。 因此，我们将每一个灯管视为潜在的故障源。我们绝不冒任何风险。在产品离开工厂之前，每件产品都要经过高压测试和绝缘电阻测试。 物理学的残酷现实 要使热...