MEMS传感器晶圆干燥加热器

为什么应该放弃热风干燥方式，转而使用红外线干燥？ 如果你从事MEMS芯片的制造工作，那么你肯定知道，在经过湿法腐蚀或清洗处理后，如何快速干燥芯片是一项非常棘手的问题。这确实是个巨大的瓶颈。我走访过的许多工厂仍然在使用热风循环干燥的方式。虽然这是一种“可靠”的方法，但实际上效率很低。 空气本身并不擅...