旋涂机烘烤灯

线上，热偏差不是抽象的指标，而是潜在的缺陷。光刻胶软烤过程中2℃的温度漂移会影响关键尺寸控制，晶圆干燥时不稳定的热曲线则极易导致边缘积胶和颗粒污染。我们设计的旋涂机烘烤灯正是为消除这种不确定性而打造。 核心技术细节 我们采用石英灯体封装短波红外发射器，配备闭环温控系统，实现晶圆旋转表面温度均匀性控...