晶圆制造中的聚酰亚胺固化
在晶圆厂车间,聚酰亚胺固化不仅仅是一个工序,而是影响良率的关键因素。温度偏差1.5°C,就会改变应力分布,导致晶圆翘曲,浪费数小时的光刻工序。我们设计的热平台能够确保固化曲线始终保持在工艺窗口内,连续运行稳定可靠。
技术关键点
我们在整个固化温度范围内实现±0.1°C的晶圆级均匀性,采用短波红外光...
柔性显示干燥灯制造厂
在柔性显示生产线上,光刻胶烘烤不是一个背景步骤,而是产率关口。
软烘烤或硬烘烤中温度漂移1°C会导致关键尺寸偏移,并带来残留膜问题。干燥灯不能成为另一个变量,它必须是热稳定的。
关键点 我们围绕可重复的热能传递设计了柔性显示干燥灯。卤素光源将短波能量直接投射到表面,实现快速、表面主导的干燥。如果处...