カーボンファイバー式の加熱装置を使えば、Fabをより効率的に使えるようになります。もし今でも古いタイプの抵抗加熱装置を使っているのであれば、不要な遅延や無駄なエネルギー消費が発生している可能性があります。そのため、多くの人々がカーボンファイバー式の赤外線ランプに切り替えています。このランプはカーボンフィラメントを利用して中長波の放射熱を放出するため、迅速に加熱され、必要な場所だけを正確に温めることができます。
なぜカーボンファイバーなのか？ 金属コイルの場合、加熱や冷却に時間がかかります。しかしカーボンファイバーは異なり、効果的に機能するためにそれほど高い温度になる必要はありません。また、基板全体に均一に熱を分布させることができます。これは非常に重要です。そうすれば、ウェーハが変形したり、化学薬品に悪影響が出たりするのを防ぐことができます。また、タングステンやセラミックのような重い熱抵抗がないため、ほぼ即座に反応します。
正確なデータの取得 測定できなければ、改善もできません。これらのランプを現代のシステムで使うためには、PIDコントローラーやクローズドループ式の温度計を接続する必要があります。そうすれば、リアルタイムで熱流量を監視し、数ミリ秒以内に出力を調整することができます。SCRを使用することで、温度を±1℃以内に維持することができます。推測する必要もなく、安定した熱供給が可能です。
注意点 もちろん、すべてが簡単に接続できるわけではありません。20個以上のランプを設置する場合、電気回路に大きな負担がかかります。そのため、初期の急激な電流の流れに対処するための計画が必要です。また、ハードウェアに関して言えば、カーボンファイバーは強いですが、石英製のケースは壊れやすいです。冷却風の流れが不均一だと、その管が割れてしまうことがあります。そのため、筐体が過度に熱くならないように、しっかりとした換気システムが必要です。
メリット 最も良い点は、スペースを大幅に節約できることです。巨大な対流オーブンを使わずに、インライン式の赤外線アーチを設置することができます。そうすれば、生産ラインが短くなり、不要な空気を温めるためのエネルギーの無駄遣いもなくなります。さらに、すべてが中央の監視システムに接続されているため、これらのランプもデジタルツインのデータポイントとして扱えます。これにより、全体の運用がスムーズになります。