製造現場では、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際にわずか0.5度でもずれが生じると、重要な寸法が規格を外してしまい、大量の製品が廃棄されてしまいます。熱の均一性や化学的純度というのは、単なる数値に過ぎず、それが品質を左右する要因なのです。
実際に重要なのは何か 私たちは、オゾンを含まない赤外線ランプを使用しています。これにより、クラス1～100のクリーンルーム内でも、クリーンルーム内の空気の質を悪化させることはありません。ピーク発光波長は調整されているため、フォトレジストが迅速に吸収され、ウェハ全体の温度ムラも±0.1℃以内に抑えられます。
石英製のケースによって粒子の発生が抑えられ、また、装置自体もクリーンルーム対応なので、問題ありません。ランプ本体のフランジ部分は冷却されているため、光学部品やその他の部品が損傷することもありません。再現性も高く、24時間体制で設定値を維持でき、5,000時間以上の運転後でも出力の安定性が保証されます。
なぜリソグラフィーに適しているのか このランプは、オゾンが蓄積されたり、温度が不安定になったりする既存のシステムに代わるものです。ソフトベイクやハードベイクの際にも、迅速に反応し、過剰な加熱を防ぐことができます。その結果、プロセスの範囲が狭まり、溶剤の残留も減少します。
欠陥の密度が下がり、再作業も減り、CDの精度も向上します。NIR方式のため、エネルギー効率が高く、熱の無駄も少ないので、電力消費も削減されます。また、フィラメントが劣化する心配もないため、メンテナンス間隔も長くなります。
事前に準備しておくべきこと 統合にあたっては、反射器の形状や焦点距離を基板の位置に合わせる必要があります。また、200mmや300mmのウェハに対する熱負荷に合わせて、ランプの出力密度を調整する必要があります。
ランプは線電圧で動作し、一定のインラッシュ電流があります。ドライブ用の電子機器は、熱サイクルによる負荷を軽減するために、適切なデューティサイクルを持つ必要があります。熱平衡状態に達するまでの時間は短く、隣接する部品がその耐熱限度内に留まるように、空気の流れを考慮する必要があります。