オーブンを待っている時間を止めよう：なぜ赤外線加熱が最適なのか
もし、依然として半導体の加工に強制送風方式を使用しているのであれば、実質的には半日を待つことに費やしていることになります。
強制送風方式の仕組みを考えてみましょう。空気を加熱し、その空気がチャンバーを温めます。そして運が良ければ、最終的に部品が熱くなります。しかし、これは非常に遅く、非効率的な方法です。時間の無駄遣いに他なりません。
要点を述べると
赤外線ランプは、全く異なるアプローチを採用します。部屋全体を温める代わりに、短波または中波の放射によって直接目的の部分を加熱します。これは、エアヒーターを使って部屋全体を温めるのとは全く異なります。壁や機械の筐体を温めるためのエネルギーを無駄にすることがありません。瞬時に熱が伝わります。準備時間は数分から数秒に短縮されます。
製造現場の整理整頓
最も良い点は、不要な装置を処分できることです。赤外線加熱を使えば、大きなファンや複雑な配管、重たいフィルターシステムなどが不要になります。これにより、かなりのスペースが確保できます。
ただし、注意が必要です。冷却システムを怠ってはいけません。赤外線加熱では強烈で集中した熱が発生します。ランプの筐体を適切に冷却しなければ、筐体自体がダメージを受けます。また、周囲の熱を無視すると、治具が変形してしまいます。これは誰も望まないことです。
生産性について
結局のところ、重要なのは時間です。高度な加工では、チャンバーが安定するのを待つ時間は全て無駄な時間です。赤外線加熱を使えば、ウェハの特定の部分だけを加熱できるので、他の部分に影響を与えることはありません。加熱時間を60％削減すれば、生産能力が大幅に向上します。新しい機械を購入したり、工場を拡張したりする必要はありません。単純に、待つ時間を減らせば、より多くの製品を出荷できるのです。