حفظ ایمنی در فرآیندهای تمیزکاری شیمیایی با استفاده از لامپهای مادون قرمز پوشیده شده با طلا
وقتی که در محیطهای مربوط به تولید نیمههادی کار میکنید، لامپهای گرمایشی در فاصله بسیار کمی از بخاراتی قرار دارند که میتوانند به راحتی منفجر شوند یا آتش بگیرند. در چنین شرایطی، استفاده از لولههای کوارتزی معمولی میتواند خطرناک باشد. به همین دلیل، از لامپهای مادون قرمز پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم؛ این لامپها به ما کنترل حرارتی لازم را میدهند، بدون اینکه فضای کاری را به محیطی خطرناک تبدیل کنند.
چرا طلا؟
هدف، زیبا کردن تجهیزات نیست؛ لایه طلا مانند یک آینه عمل کرده و تمام انرژی مادون قرمز را به سمت ویفر هدایت میکند. این کار باعث میشود حرارت در جای خود باقی بماند و جعبه لامپ دچار گرمای بیش از حد نشود. کاهش حرارت در جعبه لامپ، شانس وقوع آتشسوزی ناشی از بخارات شیمیایی را کاهش میدهد.
ما از کوارتز برای ساخت بدنه لامپ استفاده میکنیم؛ زیرا کوارتز میتواند تغییرات ناگهانی دما را به خوبی تحمل کند. اما یک نکته مهم این است که همیشه دستکش بپوشید؛ حتی کمی روغن از پوست شما میتواند باعث ترک خوردن شیشه لامپ شود.
مقابله با مناطق خطرناک
در محیطهای منفجره، یک جرقه کوچک میتواند فاجعهبار باشد. برای جلوگیری از این امر، ما به طور دقیق به محلات اتصال الکترودها توجه میکنیم؛ از عایقهای سرامیکی با کیفیت بالا و محافظتهای ضد هوا استفاده میکنیم تا هیچ احتمالی برای وجود جرقه بین لامپ و بدنه آن وجود نداشته باشد.
اگر محافظتها از بین بروند، بخارات شیمیایی میتوانند وارد بدنه لامپ شوند؛ این امر میتواند منجر به آتشسوزی شود. برای جلوگیری از این امر، از محافظتهای قوی استفاده میکنیم که بتوانند در برابر مواد شیمیایی خورنده مقاومت کنند.
معایب
لامپهای پوشیده شده با طلا، گرمای بیشتری تولید میکنند و سریعتر گرم میشوند؛ این موضوع از نظر کارایی خوب است، اما فشار زیادی بر منبع تغذیه لامپ وارد میکند. باید مطمئن شوید که سیمها و اتصالات مربوطه بتوانند توان لامپ را تحمل کنند؛ در غیر این صورت، ممکن است مشکلات مربوط به ولتاژ پیش بیاید.
و یک نکته آخر: اگرچه لایه طلا بسیار مفید است، اما حساس نیز هست؛ یک خراش کوچک روی سطح طلا میتواند باعث ایجاد نقاط گرم شود، و این موضوع میتواند پایان کار لامپ را رقم بزند. برای جلوگیری از این مشکل، باید سطح لامپ را تمیز نگه دارید و اتصالات آن را محکم کنید.