グローブボックス用赤外線ヒーター素子

破片の発生を防ぐ：IRヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量の半導体を製造している方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。グローブボックス内の石英ランプが壊れてしまうのです。 問題は単に停止時間が長くなることだけではありません。ガラスの破片や微粒子が直接ウェーハに降りかかってしま...