破片の発生を防ぐ：IRヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法
大量の半導体を製造している方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。グローブボックス内の石英ランプが壊れてしまうのです。
問題は単に停止時間が長くなることだけではありません。ガラスの破片や微粒子が直接ウェーハに降りかかってしまうのです。完全な災害です。
私たちは、そんなことが起こらないように、特別に設計されたIR要素を使用しています。
熱の問題
ほとんどのランプは、 Hot Spotの発生や過度な繰り返し使用によって壊れてしまいます。これを解決するために、高純度の合成石英を使用しています。これにより、熱が均等に分散されます。
しかし、本当の秘訣は中心位置の調整にあります。なぜかというと、タングステンがずれてチューブの壁に触れると、ガラスがすぐに溶けてしまうからです。そうなると、ランプは壊れてしまいます。
安全対策の追加
何が起こるかを予測することはできないので、作業場所を清潔に保つために2段階のバックアップ策を用意しています。
まず、耐破壊性のあるコーティングを施します。これは、ランプのスクリーンプロテクターのようなもので、シールが破れても石英をしっかりと保持します。
次に、二次的な保護装置を使用します。これは、破片がウェーハに届く前にそれを捕捉するための簡単な物理的障壁です。
電力、冷却、そして「隠れた」リスク
誰もがより速い起動速度を望みますが、それはつまりより高いワット数を意味します。しかし、高い熱密度はランプにとって悪影響を与えます。そのため、接触点での破損を防ぐために、強化された電極を使用しています。
注意すべき点としては、換気システムです。グローブボックスが放射熱を排出できなければ、ソケットが過度に熱くなってしまいます。そうなると、接続部が劣化し、電気的なアークが発生します。良い状態ではありません。
また、電圧を安定させてください。急激な電圧の変動は、ランプを破壊する最も大きな要因です。専用のPIDコントローラーを使用することで、そのような急激な変動を防ぎ、フィラメントが壊れるのを防げます。