爆発性物質がある環境での安全性の確保 化学洗浄装置を使ってウェーハを加熱する際には、単なる熱源だけでは不十分です。安心感も必要です。 可燃性や爆発性のある溶剤を使用する場合、一般的な赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろリスクそのものです。そのため、私たちは専用のケースを用いてヒーターを製造して...

オーブンを待っている時間を止めよう：なぜ赤外線加熱が最適なのか もし、依然として半導体の加工に強制送風方式を使用しているのであれば、実質的には半日を待つことに費やしていることになります。 強制送風方式の仕組みを考えてみましょう。空気を加熱し、その空気がチャンバーを温めます。そして運が良ければ、最終...

製造現場では、問題が発生する前には気づきにくいことがあります。乾燥時の温度均一性にわずかなばらつきがあるだけで、エネルギー消費量やスクラップの発生が増えてしまいます。ソフトベイクやクリーニング後の乾燥では、数度単位の精度が求められます。たとえわずかな熱点があっても、それがパターン上の欠陥として現れ...