クリーンルームの設備をアップグレードし 製造工程を改善する
IRランプが工場内で爆発を引き起こさないようにする方法 正直に言えば、化学洗浄エリアでIRヒーターを使用するのは、まるで火遊びのようなものです。そこには可燃性の蒸気や腐食性の化学物質が漂っており、装置もその真ん中にあるのです。半導体工場では、わずかな火花や石英ケースの微細なひび割れでさえ、単なる「...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
IRエネルギーを最大限に活用するために
クリーンルームで作業を行う際、電力を無駄にするのは非効率的だけでなく、問題も多いです。シリコンウェーハを加熱するときには、「より多くの熱」が必要なだけではありません。そのエネルギーを正しい場所に届けることが重要です。
問題は、一般的なアルミニウム製の反射板は...