フォトレジスト焼成ランプ

リソグラフィー工程において、ソフトベイクやハードベイクの温度が1℃変動するだけでも、線幅に影響を与えます。また、CDの制御を乱し、サイドウォールの角度も変わり、最終的には歩留まりにも悪影響を及ぼします。ベイク用ランプは、クリーンルーム内での温度管理を行うための重要な要素です。 技術的に重要なのは、...