ウェーハバーンインテスト用加熱ランプ

製造現場では、バーンイン処理やフォトレジストの加熱処理中に生じる温度変動は、すぐに現れます。それによりライン幅が不安定になったり、歩留まりが低下したりします。ソフトベイクやハードベイクのプロファイルが乱れると、エッチング後に残留物が残り、パラメトリックな故障が増えてしまいます。私たちは、このような...