ウェーハ加熱時の安全距離

ウェーハ加熱システムが爆発しないようにするために シリコンウェーハを加熱する際には、少しのミスでも大惨事につながります。わずかなアークや漏れ電流があっただけで、一括してウェーハが破壊され、制御ボードも破損してしまいます。本当に最悪です。 そのため、私たちは、各ランプ管を潜在的な災害源として捉えてい...