TEL 東京エレクトロン ヒーターランプ

fabフロアではご存知の通り、ソフトベイクでわずか2度のズレが生じるだけで重要寸法が狂い、多量のスクラップが発生することがあります。ウェハ全体の温度均一性は「あったら良い」ものではなく、厳格な要件です。TELヒーターランプはリソグラフィセルに必要な熱制御をサイクル毎に提供します。 内部で重要なポイ...