クリーンルーム用赤外線ヒーター
空気を加熱するのをやめよう:スマートファブを構築するためのより良い方法
もしインダストリー4.0向けのスマートファブを構築しようとしているなら、従来のやり方——つまり、単に熱い空気を部屋中に送り込むだけの方法——ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。クリーンルームでは、空気中に浮遊する...
半導体クリーンルーム用トロリーヒーター
クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もしあなたがクラス100の環境で作業しているなら、その厳しさはご存知でしょう。わずかなほこりやガスの漏れだけで、シリコンウェーハは台無しになってしまいます。まさに悪夢です。一般的なヒーターでは、こんな状況に対応できません。使用時に粒子が飛...
クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター
なぜスマートファブではオーブンの代わりに赤外線を使う必要があるのか? インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているなら、従来の対流式オーブンが実際にはかなり問題だと気づいているはずです。クリーンルームでは、空気の流れ自体が敵となります。対流によってほこりや微粒子が舞い上がり、それが災害の...