フレキシブルディスプレイ乾燥ランプ製造施設

フレキシブルディスプレイラインにおいて、フォトレジストのベークは単なる背景工程ではなく、歩留まりのゲートである。 ソフトベークまたはハードベークで1℃のズレが生じると、クリティカルディメンションがシフトし、スカミングが発生する。乾燥ランプは別の変動要因になってはならず、熱的に一定である必要がある。...