スピンコーター ベイクランプ

ライン上では、熱変動は抽象的な指標ではなく、不良が発生する原因そのものである。フォトレジストのソフトベイク中に2°Cの温度変化があれば、重要寸法制御がずれ、ウェーハ乾燥時の不十分な熱プロファイルはエッジビードや粒子汚染を招く。これらの不確定要素を排除するために、当社はスピンコーター用ベイクランプを...