空気を加熱するのをやめよう：スマートファブを構築するためのより良い方法 もしインダストリー4.0向けのスマートファブを構築しようとしているなら、従来のやり方——つまり、単に熱い空気を部屋中に送り込むだけの方法——ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。クリーンルームでは、空気中に浮遊する...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もしあなたがクラス100の環境で作業しているなら、その厳しさはご存知でしょう。わずかなほこりやガスの漏れだけで、シリコンウェーハは台無しになってしまいます。まさに悪夢です。一般的なヒーターでは、こんな状況に対応できません。使用時に粒子が飛...

IRランプが工場内で爆発を引き起こさないようにする方法 正直に言えば、化学洗浄エリアでIRヒーターを使用するのは、まるで火遊びのようなものです。そこには可燃性の蒸気や腐食性の化学物質が漂っており、装置もその真ん中にあるのです。半導体工場では、わずかな火花や石英ケースの微細なひび割れでさえ、単なる「...

IRエネルギーを最大限に活用するために クリーンルームで作業を行う際、電力を無駄にするのは非効率的だけでなく、問題も多いです。シリコンウェーハを加熱するときには、「より多くの熱」が必要なだけではありません。そのエネルギーを正しい場所に届けることが重要です。 問題は、一般的なアルミニウム製の反射板は...

なぜスマートファブではオーブンの代わりに赤外線を使う必要があるのか？ インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているなら、従来の対流式オーブンが実際にはかなり問題だと気づいているはずです。クリーンルームでは、空気の流れ自体が敵となります。対流によってほこりや微粒子が舞い上がり、それが災害の...