웨이퍼가 아닌 장비를 가열하는 것을 그만두세요.
반도체 제조 공장에서는 잘못된 부분을 가열하는 것은 효율성이 낮을 뿐만 아니라 위험한 일입니다.
일반적인 복사형 히터를 사용할 경우, 열이 여기저기 흩어집니다. 결국 비싼 장비의 내부 벽면들이 그 열을 흡수하게 됩니다. 그 결과 장비가 과열되고, 작업자들은 본래 걱정할 필요 없는 안전 위험에 직면하게 됩니다.
우리는 방향성이 있는 적외선 램프를 사용하여 이 문제를 해결합니다.
원리는 매우 간단합니다.
대부분의 램프는 360도 방향으로 열을 방출합니다. 하지만 좁은 공간에서는 그 낭비된 에너지 때문에 장비의 외부가 마치 거대한 방열기처럼 작용합니다.
하지만 우리의 적외선 램프는 다릅니다. 특수한 반사체와 파장 조절 기능을 활용하여 열 에너지를 한 점으로 집중시킵니다. 그렇게 하면 열이 웨이퍼나 기판에 직접 닿게 되고, 장비의 벽면은 영향을 받지 않습니다.
물론, 고려해야 할 단점도 있습니다.
좋은 점은 필요한 곳에만 충분한 열을 공급할 수 있다는 것입니다. 그래서 공장 전체가 오븐처럼 되는 것을 막을 수 있습니다. 이는 훨씬 더 안전한 작업 방식입니다.
하지만 단점도 있습니다. 램프의 초점을 정확히 맞춰야 합니다. 에너지가 너무 집중되어 있기 때문에, 램프의 위치가 조금이라도 어긋나면 열이 잘못된 곳에 가게 됩니다. 그러면 재료가 손상될 수 있습니다. 따라서 램프를 고정하는 부품들은 매우 견고해야 합니다. 램프가 조금이라도 흔들리거나 움직이면 열 분포가 망가집니다.
실제 현장에서의 적용
대부분의 경우, 이 램프로 교체하는 것은 매우 간단합니다.
우리는 램프가 작동할 때 배선에 손상을 주지 않도록 세심하게 확인합니다.
열 낭비를 줄이면 몇 가지 좋은 점이 있습니다. 전기 요금이 줄어들고, 장비의 표면 온도도 낮아집니다. 그리고 가장 좋은 점은, 장비가 과열되는 것을 막기 위해 크고 시끄러운 냉각팬이나 비싼 방열 장치를 사용할 필요가 없다는 것입니다.